金相顯微鏡是專門用于觀察金屬和礦物等不透明物體金相組織的顯微鏡鏡，它具有穩(wěn)定性好、成像清晰、分辨率高、視場大而平坦的特點(diǎn)。因其對被測物進(jìn)行既定性又定量地進(jìn)行分析，故對金相顯微鏡的校準(zhǔn)工作*。
關(guān)鍵詞：金相顯微鏡；物鏡場曲；物鏡放大倍數(shù)；示值誤差；校準(zhǔn)規(guī)范；測量不確定度。
金相顯微鏡是廣泛用于冶金、機(jī)械加工、科技等行業(yè)的測量儀器。它可以測量金屬材料金相組織奧氏體的晶粒度級別、材料熱處理后滲碳層的厚度等。為了提高我國的材料研發(fā)制造水平，我們必須對金相顯微鏡進(jìn)行校準(zhǔn)或檢定。金相顯微鏡主要分為光學(xué)式金相顯微鏡、數(shù)碼金相顯微鏡、便攜式視頻金相顯微鏡、金相顯微鏡、圖像分析儀等。(以下統(tǒng)稱金相顯微鏡)
1、 金相顯微鏡的溯源
由于各種金相顯微鏡的用途不同，故其類型、結(jié)構(gòu)及精度亦不同，因而溯源關(guān)系和方式也不同。通過不同的技術(shù)手段和方法，我們終可溯源到“單刻線樣板標(biāo)準(zhǔn)器組”和“0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺”標(biāo)準(zhǔn)器組。
2、 校準(zhǔn)項(xiàng)目的設(shè)立
2.1、物鏡場曲
將一物鏡安裝好，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺放在工作臺上并壓緊；旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋鈕，將焦點(diǎn)調(diào)整在測微尺的中間，視場中心成像清晰，此時將千分表測頭與工作臺表面相接觸并對好表的零位；再次旋轉(zhuǎn)調(diào)焦旋轉(zhuǎn)，把焦點(diǎn)調(diào)整到測微尺的邊緣，使視場邊緣成像清晰。觀察千分表，其大偏移量即為該物鏡的場曲誤差，其余物鏡以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。
物鏡場曲誤差的指標(biāo)如下：10X<0.2mm、25X<0.1mm、40X<0.07mm、63X<0.065mm、100X<0.04mm
2.2、物鏡放大倍數(shù)的正確性
裝上10X標(biāo)準(zhǔn)目鏡和被檢物鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)沒微尺放在工作臺上并壓緊。觀察時測微尺應(yīng)與目鏡中的分劃板相符合，其偏移量測是放大倍數(shù)的誤差。其余物鏡以此類推進(jìn)行校校準(zhǔn)，其誤差不大于5%
2.3、目鏡分劃板的準(zhǔn)確度
將帶分劃板目鏡的鏡頭旋下，把分劃板放置在萬工顯工作臺上并調(diào)好焦距；調(diào)整工作臺，使分劃板的水平線與萬工顯縱向?qū)к壭谐唐叫胁昧阄?，按?0格測量一次，直到第100格，其誤差不大于5um
2.4、物鏡成像清晰范圍
用被檢物鏡及10X目鏡對測微尺或金相試樣進(jìn)行調(diào)焦，使成像清晰。當(dāng)視場中心像清晰時，測得視場內(nèi)的成像清晰范圍的誤差不低于60%
2.5、各物鏡相對于目鏡的格值
裝上被檢儀器的10X目鏡，將0.01mm標(biāo)準(zhǔn)測微尺(推薦使用隨機(jī)0.01mm測微尺)放在工作臺上并壓緊；調(diào)整測微尺標(biāo)尺軸線與儀器目鏡分劃板標(biāo)尺軸線平行，并讀出目鏡分劃板i條刻線里包含測微尺n條刻線數(shù)，該物鏡相對于目鏡的格值為：C=n/i*0.01mm.其余物鏡的格值以此類推進(jìn)行校準(zhǔn)。
